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所謂“清潔大師”，顧名思義，剝離液承擔(dān)著清除殘膠、保持潔凈的重要使命。在光刻工藝的收尾階段，完成圖形轉(zhuǎn)移的光刻膠必須被徹底清除，以確保晶圓表面的潔凈和后續(xù)工藝的順利進行，從而保障后續(xù)工藝的平穩(wěn)推進。

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